绿菱气体公司成功揭榜挂帅天津市新一代人工智能科技重大专项

        日前，绿菱气体公司申报的“集成电路用特种气体研究及适配应用项目”成功揭榜挂帅天津市新一代人工智能科技重大专项。标志着绿菱气体公司在电子特气行业的产品研究和应用方面取得重大进展。

        2021年8月，天津市科学技术局发布新一代人工智能科技重大专项“揭榜挂帅”榜单，其中“集成电路用特种气体研究及适配应用”是这次发布的三个项目方向之一。绿菱电子材料（天津）有限公司作为第一申报单位，联合中芯国际集成电路制造（天津）有限公司作为第二申报单位，在天津市武清区科学技术局的组织和领导下组成科研骨干小组进行深入论证，迅速形成了申报材料，最终通过相关评审和公示，成功“揭榜挂帅”！

        根据项目规划，绿菱气体公司和中芯国际公司将用三年左右的时间，对高端制程专用刻蚀与沉积特气丙烯、六氟丁二烯、一氟甲烷和三氟碘甲烷的纯化技术进行开发，实现上述产品在芯片制造公司示范应用，提升高纯电子特气发展水平，支撑集成电路先进制造工艺的突破。在项目推进过程中，同步进行申报发明专利、制定行业标准、培养专业人才等工作。

        高纯电子级丙烯、六氟丁二烯、一氟甲烷和三氟碘甲烷因其独特的刻蚀和沉积特性，应用于集成电路高端制程中，适用于200-300mm晶圆生产线。以上产品分离纯化、分析、包装物、产业化的科学工程技术突破以及自主知识产权研发技术，将解决国内民族芯片产业关键卡脖子材料制约的问题，为国家集成电路配套新材料产业的制备、纯化与产业化技术提供重要保障，也是打破我国高纯电子特气受制于人局面的关键。